Différence entre la diffusion et l'implantation ionique | Implantation ionique vs diffusion

Diffusion vs Ion Implantation < La différence entre la diffusion et l'implantation ionique peut être comprise une fois que vous comprenez ce qu'est la diffusion et l'implantation ionique. Tout d'abord, il convient de mentionner que la diffusion et l'implantation ionique sont deux termes liés aux semi-conducteurs. Ce sont les techniques utilisées pour introduire des atomes dopants dans des semi-conducteurs. Cet article traite des deux processus, de leurs principales différences, avantages et inconvénients.

Qu'est-ce que la diffusion?

La diffusion est l'une des principales techniques utilisées pour introduire les impuretés dans les semi-conducteurs. Cette méthode considère le mouvement de dopant à l'échelle atomique et, fondamentalement, le processus se produit en raison du gradient de concentration. Le procédé de diffusion est réalisé dans des systèmes appelés "

fours à diffusion ". C'est assez cher et très précis. Il existe

trois principales sources de dopants : les sources gazeuses, liquides et solides et les sources gazeuses sont les plus largement utilisées dans cette technique (Sources fiables et pratiques: 3 , PH ₃ , AsH ₃ ). Dans ce processus, le gaz source réagit avec l'oxygène sur la surface de la tranche, ce qui donne un oxyde dopant. Ensuite, il se diffuse dans le silicium, formant une concentration de dopant uniforme à travers la surface. _{Les sources liquides} sont disponibles sous deux formes: les bulles et le dopant. Les bulles convertissent le liquide en une vapeur pour réagir avec l'oxygène et ensuite pour former un oxyde dopant sur la surface de la tranche. Les centrifugations sur dopants sont des solutions de couches de SiO 2 dopées sous forme de séchage. Les sources solides _{comprennent deux formes: forme comprimée ou granulaire et forme de disque ou de gaufrette. Les disques de nitrure de bore (BN) sont la source solide la plus couramment utilisée qui peut être oxydée à 750 - 1100} 0 C.

^{Diffusion simple d'une substance (bleue) due à un gradient de concentration sur une membrane semi-perméable (rose).} Qu'est-ce que l'implantation ionique?

L'implantation ionique est une autre technique d'introduction d'impuretés (dopants) aux semi-conducteurs. C'est une technique à basse température. Ceci est considéré comme une alternative à la diffusion à haute température pour introduire des dopants. Dans ce processus, un faisceau d'ions hautement énergétiques est dirigé vers le semi-conducteur cible. Les collisions des ions avec les atomes du réseau entraînent la distorsion de la structure cristalline. La prochaine étape est le recuit, qui est suivi pour corriger le problème de distorsion.

Certains avantages de la technique d'implantation ionique comprennent un contrôle précis du profil de profondeur et du dosage, moins sensible aux procédures de nettoyage de surface, et il a une large sélection de matériaux de masques tels que le photorésist, le poly-Si, les oxydes, et le métal.

Quelle est la différence entre la diffusion et l'implantation ionique?

• En diffusion, les particules se propagent par mouvement aléatoire depuis des régions de concentration plus élevée vers des régions de concentration plus faible. L'implantation ionique implique le bombardement du substrat avec des ions, accélérant à des vitesses plus élevées.

•

Avantages:

La diffusion ne crée aucun dommage et la fabrication par lots est également possible. L'implantation ionique est un processus à basse température. Il vous permet de contrôler la dose précise et la profondeur. L'implantation ionique est également possible grâce aux fines couches d'oxydes et de nitrures. Cela inclut également des temps de traitement courts.

•

Inconvénients: La diffusion est limitée à la solubilité solide et il s'agit d'un processus à haute température. Les jonctions peu profondes et les faibles dosages sont difficiles le processus de diffusion. L'implantation ionique implique un coût supplémentaire pour le processus de recuit. • La diffusion a un profil de dopant isotrope alors que l'implantation ionique a un profil de dopant anisotrope.

Résumé: Implantation ionique vs diffusion La diffusion et l'implantation ionique sont deux méthodes d'introduction d'impuretés aux semi-conducteurs (Silicium-Si) pour contrôler le type majoritaire du support et la résistivité des couches. En diffusion, les atomes dopants se déplacent de la surface vers le silicium au moyen du gradient de concentration. C'est par des mécanismes de diffusion substitutionnels ou interstitiels. Dans l'implantation ionique, les atomes dopants sont ajoutés avec force dans le silicium en injectant un faisceau d'ions énergétiques. La diffusion est un processus à haute température alors que l'implantation ionique est un processus à basse température. La concentration du dopant et la profondeur de la jonction peuvent être contrôlées dans l'implantation ionique, mais elles ne peuvent pas être contrôlées dans le processus de diffusion. La diffusion a un profil de dopant isotrope alors que l'implantation ionique a un profil de dopant anisotrope.

Courtoisie des images:

Diffusion simple d'une substance (bleue) en raison d'un gradient de concentration sur une membrane semi-perméable (rose) par Elizabeth2424 (CC BY-SA 3. 0)